(1)薄膜生长过程控制及功能集成:
使用物理气相沉积方法生长氧化物、氮化物、钙钛矿薄膜,研究薄膜外延生长控制方法、系统集成及铁电、压电原型器件等;
(2)新型氧化物薄膜的制备、物理性能及应用:
氧化物薄膜的制备、掺杂及光电性能,紫外探测器;
(3)纳米材料制备及应用研究:
氧化锌、氧化钛等纳米材料的制备、表面修饰,光催化性能,染料太阳能电池;
(4)化学镀
侧重陶瓷等难镀基底上的化学镀;离子钯及非贵金属纳米敏化剂研究;纳米复合超硬、自润滑、耐腐蚀化学镀层。
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